На самом деле, велись разработки интегральных микросхем по "ламповой технологии"....электроны излучались просто с микроострия за счёт холодной эмиссии.
сама структура получалась очень простой:
микроостриё -катод
диэлектрик
отверстие в слое проводника -сетка
диэлектрик
проводник
всё, триод готов...осталось только создать вакуум.
На самом деле, велись разработки интегральных микросхем по "ламповой технологии"....электроны излучались просто с микроострия за счёт холодной эмиссии.
сама структура получалась очень простой:
микроостриё -катод
диэлектрик
отверстие в слое проводника -сетка
диэлектрик
проводник
всё, триод готов...осталось только создать вакуум.
вот, кстати, патент
findpatent.ru/patent/208/2089004.html